Đầu đo chân không Pirani TPR 280, kết nối mặt bích DN16 ISO-KF, dùng cho hệ thống đo lường chân không công nghiệp, hiệu: INFICON

Đầu đo chân không Pirani INFICON TPR 280 là cảm biến đo áp suất chân không nhỏ gọn, độ chính xác cao thuộc dòng Active Pirani. Thiết bị chuyên dùng để đo áp suất trong khoảng chân không trung bình và thô (từ 5x10⁻⁴ hPa đến 1000 hPa).

Với cổng kết nối chuẩn DN 16 ISO-KF, sản phẩm dễ dàng lắp đặt vào nhiều hệ thống chân không công nghiệp và phòng thí nghiệm khác nhau.

Thông số kỹ thuật chính

• Thương hiệu/ Hãng sản xuất: INFICON
• Dòng sản phẩm (Model): TPR 280 (Standard)
• Mã sản phẩm (P/N): IGG26950A
• Nguyên lý đo: Pirani (Sợi dây nhiệt Tungsten)
• Dải đo áp suất: 5x10⁻⁴ hPa đến 1000 hPa (mbar)
• Chuẩn kết nối chân không (Flange Size): DN 16 ISO-KF
• Độ chính xác (N2/Air):
  • ±15% khoảng 1 x 10⁻³ đến 100 hPa
  • ±50% ngoài dải trên
• Tín hiệu ngõ ra (Output signal): Logarithmic ( 0 ...+9.0 VDC)
• Nhiệt độ hoạt động: +5 ⁰C đến + 60 ⁰C
• Nhiệt độ sấy (Bakeout temp at flange): Tối đa 80 ⁰C
• Cấp bảo vệ: IP40

Đặc điểm nổi bật

• Dải đo rộng & Ổn định: Đo liên tục và chính xác áp suất khí quyển xuống tới chân không trung bình.
• Kích thước nhỏ gọn: Thiết kế chắc chắn, linh hoạt lắp đặt theo mọi hướng trong không gian hẹp.
• Tính tương thích cao: Chuẩn kết nối DN 16 ISO-KF phổ biến, dễ dàng tích hợp vào hệ thống ống dẫn chân không tiêu chuẩn.
• Vận hành tin cậy: Sử dụng mạch đo chủ động (Active Gauge) cho tín hiệu chuẩn đầu ra dạng Volts tương ứng theo thang Logarith áp suất.

Ứng dụng thực tế

• Kiểm soát chân không trong các hệ thống Phủ chân không (Sputter Coater / Evaporator) cho chuẩn bị mẫu SEM hoặc màng mỏng.
• Kiểm soát và giám sát áp suất chân không trong hệ thống bơm chân không thô/trung bình (Rough/Fore-vacuum lines).
• Ứng dụng trong các thiết bị sấy chân không, đóng gói chân không, phủ chân không và các thiết bị phân tích phòng thí nghiệm.
• Tích hợp vào hệ thống điều khiển tự động hóa hoặc bộ hiển thị áp suất chân không chuyên dụng.